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XP-703DIII 半导体材料气体泄漏探测器

产品简介一、技术特点：1.zui适用于半导体材料气体的超微量泄漏检测2.通过报警灯及蜂鸣器即可得知气体泄漏

点击获取报价

产品介绍

技术参数

产品视频

采购指南

可检测微量的半导体材料气体泄漏，可对半导体工厂等使用毒性气体的场所进行泄漏检测，也可对氢气相关设备提供安全保障。

产品特点

小型·轻量

可以检查非常微量的气体泄漏

适合氢气相关设备的安全防护

搭载的泵有自动停止功能

搭载[自动气体排气模式]功能

保护等级约为IP22（JIS C  0920）※安装皮套时

产品用途

半导体工厂/石油化学工厂等

在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测


技术参数

型号

XP-703DⅢ

检测对象气体

半导体材料气体(砷烷、磷化氢、乙硼烷、硅烷、氢气)

检测原理

热线型半导体式

采样方式

自动吸引式

 可检测气体

砷烷

磷化氢

乙硼烷

硅烷

氢气

AsH₃

PH₃

B₂H₆

SiH₄

H₂


可检测泄漏量
[Pa·m³/s]

2.53x10⁻⁷

1.52x10⁻⁷

1.01x10⁻⁷

2.53x10⁻⁷

5.07x10⁻⁷

可检测浓度
[μmol/mol]

0.5

0.3

0.2

0.5

0.1

反应时间

10秒以内(探测的气体为可检测浓度的3倍时，灵敏度设定为[4])

报警方式

发出断断续续的声音及报警灯闪烁

电源

5号碱性干电池(LR6)2节

连续使用时间※1

约12小时(5号碱性干电池)[在常温·常湿条件下]

保护等级※2

IP22 相当※3

使用压力范围

大气压(800~1100hpa)

使用温湿度范围

0C~40℃、85%RH以下(无结露现象)

外形尺寸

W38xH130xD32mm(突出部分除外)

重量

约190g(包含电池、皮套)

标配附件

皮套、引导管过滤片、替换用过滤芯、导气管、点检气体、手提挂绳、5号碱性干电池2节等


上一页 : XP-329ⅢR便携式气味检测器

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